ICP-MS仪器所使用的等离子体除了方位和线圈接地方式外，与
发射光谱中使用的基本相同。所使用的
质量分析器、离子检测器和
数据采集系统又与四极杆
GC-MS仪器相类似。质量分析器多采用
四极杆质谱计，也有采用具有高分辨的双聚焦扇形磁场质谱计、
飞行时间质谱计等。该技术的特点：灵敏度高；速度快，可在几分钟内完成几十个元素的定量测定；谱线简单，干扰相对于光谱技术要少；
线性范围可达7～9个
数量级；样品的制备和引入相对于其他质谱技术简单；既可用于元素分析，还可进行
同位素组成的快速测定；测定精密度(
RSD)可到0.1%
